超精密运动平台常用导轨有机械滚动导轨、静压导轨等，机械滚动导轨的应用己经有好多年，机械滚动导轨的运动精度达到微米级，摩擦因数可以降低到0.002至0.003。机械滚动导轨的优点是滚动摩擦阻力小，没有滑动导轨的爬行、浮动现象，但机械滚动导轨的摩擦大、抗震性差、运动不平稳、寿命低，在应用方面有所欠缺。

气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。因其误差均化作用，可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。通常与直线电机，编码器反馈，控制驱动器组成闭环系统，实现高精度位移定位。气浮导轨在测量仪器、精密机械中得到了广泛的应用。

气浮导轨相对于普通滚动导轨有着如下的优点：

（1）导轨面间是气体润滑，其摩擦系数极小（约为0.0005左右），故驱动功率可大大降低；

（2）因系非接触性摩擦，故导轨磨损极小，理论上使用寿命是无限的，能长期保持制造精度，减少了维修工作量；

（3）气膜具有误差均化作用，可提高导轨运动精度；

（4）气膜厚度几乎不受速度的影响，即使在极低速时也不会产生爬行，运动平稳；

（5）几乎不产生热量，不会发生粘度变化，无需添加冷却措施。

精效悬浮有20年的精密机械设计、加工及装配等从业经验，从设计上对高压气体的流动规律、压力分布、转台精度分离方法等进行了充分研究，研究其影响因素-高压气膜的压力分布、气源压力、节流器、均压槽深度等，找到了最优气膜刚度时的参数区间。在气浮转台取得了关键技术突破，为高精度零件的加工与检测、超精密加工工具的研制奠定了技术基础。轴向和径向误差在100nm以内，双向重复定位精度1角秒内。